概要
質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質量流量控制器。
1.適用于高溫：可滿足150℃烘焙
2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
3.超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
4.適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格

SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：80?100℃

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：100?120℃

SEC-8440LSL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：15?35℃

SEC-8450LSL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：15?35℃

SEC-8455LSL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：15?35℃

SEC-8460LSL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：15?35℃

SEC-8440LSM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：35?60℃

SEC-8450LSM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：35?60℃

SEC-8455LSM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：35?60℃

SEC-8460LSM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：35?60℃

SEC-8440LSH
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：60?80℃

SEC-8450LSH
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：60?80℃

SEC-8455LSH
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：60?80℃

SEC-8460LSH
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：60?80℃

SEC-8440SL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：80?100℃

SEC-8450SL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	3/5/10 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：80?100℃

SEC-8455SL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：80?100℃

SEC-8460SL
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	20/30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：80?100℃

SEC-8440SM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：100?120℃

SEC-8450SM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	3/5/10 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：100?120℃

SEC-8455SM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：100?120℃

SEC-8460SM
氣體接觸部材質	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	20/30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：100?120℃

產(chǎn)品相關圖及其它