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HORIBA SEC-N100氣體流量控制器

[在線(xiàn)咨詢(xún)]2018-6-7 20:28:08

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HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器

HORIBA SEC-N100提供多種不同類(lèi)型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿(mǎn)足客戶(hù)不同的需求。所有氣體質(zhì)量流量控制器都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類(lèi)型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶(hù)可選擇最適合的類(lèi)型。HORIBA可提供三種閥門(mén)，客戶(hù)可選擇熱式閥門(mén)、電磁線(xiàn)圈閥門(mén)、或者壓電陶瓷閥。同樣HORIBA也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet? (*1), 以及PROFIBUS?(*2) (取決于產(chǎn)品型號(hào))。HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標(biāo)志。
*2 PROFIBUS是一種國(guó)際化的通訊方式標(biāo)志。

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器

HORIBA SEC-N100系列適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。HORIBA SEC-N100可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *包括SEC-N177R），快速響應(yīng)。同時(shí)SEC-N100這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶(hù)成本。

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器特征
大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器
HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器SEC-N100

型號(hào)	選擇通訊方式	選擇供電方式
SEC-N102 系列	數(shù)字式信號(hào)傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議模擬式通訊 ?0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源
SEC-N104 系列	DeviceNet? 通訊	符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N105 系列	CC-Link®通訊模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA	符合 CC-Link®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS? 通訊方式	符合PROFIBUS? 標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 to 32VDC)
	模擬式通訊
	?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT® 通訊方式	符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4v

SEC-N100 系列高精度
■高精度（設(shè)定點(diǎn)為基準(zhǔn)）MFC的線(xiàn)性度將由近似多項(xiàng)式曲線(xiàn)進(jìn)行補(bǔ)償。這幫助實(shí)現(xiàn)了對(duì)所有流量控制范圍的高精度控制。為了實(shí)際氣體流量的準(zhǔn)確性進(jìn)一步提高，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行校驗(yàn)。

整個(gè)流量控制范圍內(nèi)都可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新的可變PID運(yùn)算法則：1秒高速響應(yīng)SEC-N100 系列搭載了新開(kāi)發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對(duì)于所有設(shè)置點(diǎn)它可以實(shí)現(xiàn)1秒內(nèi)的響應(yīng)速度。當(dāng)您改變標(biāo)定滿(mǎn)量程和氣體種類(lèi)時(shí)，可變PID將根據(jù)當(dāng)下的設(shè)定點(diǎn)不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。

多氣體、多量程的解決方案
■專(zhuān)用的軟件賦予用戶(hù)可以自由更改規(guī)格的能力新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶(hù)自由變更氣體種類(lèi)和量程成為可能。

致力于成本考量，運(yùn)用新的設(shè)計(jì)概念
作為N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門(mén)的Z500系列產(chǎn)品。請(qǐng)注意，在沒(méi)有通知的情況下，可能會(huì)對(duì)某些需要提高生產(chǎn)率的部件和產(chǎn)品工藝做出修改，但不會(huì)牽涉到改變產(chǎn)品的規(guī)格。

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器選型表下載（pdf文檔）

/upload/201806/07/201806072053025441.pdf

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹：（英文版）

/upload/201806/07/201806072053511701.pdf

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